干涉測(cè)量法的工作原理是什么？

簡(jiǎn)介

邁克爾遜干涉儀是干涉測(cè)量中常用的工具，由Albert Abraham Michelson（*獲得諾貝爾科學(xué)獎(jiǎng)的美國人）于1887年發(fā)明。他發(fā)明了鏡組和半透半反鏡組（分光鏡）系統(tǒng)，可將來自相同光源的分離光束融合在一起進(jìn)行干涉測(cè)量。激光干涉測(cè)量法是一種完善的高精度測(cè)距方法。

基本原理：

邁克爾遜干涉儀一般可將相干光源的單條射入光束分成兩條相同的光束。每條光束的傳播路徑（稱為光程）不同，并在到達(dá)探測(cè)器之前重新會(huì)合。每條光束的傳播距離不同使它們之間產(chǎn)生相位差。正是該相位差在初相同的光波之間形成可通過探測(cè)器進(jìn)行識(shí)別的干涉條紋。如果單條光束沿兩個(gè)光路分開（測(cè)量和參考光路），則利用相位差便可判斷出所有可改變光束相位的因素。這可能是光路長度本身的物理變化，或者是光束傳播介質(zhì)的折射率的變化。

邁克爾遜干涉測(cè)量法

從激光源發(fā)出的激光光束 (1) 在干涉鏡處被分成兩束光（參考光束 (2) 和測(cè)量光束 (3)）。這些光束從兩個(gè)角錐反射鏡反射回來，并在到達(dá)探測(cè)器前，在干涉鏡處重新會(huì)合。

使用角錐反射鏡可確保從參考臂和測(cè)量臂反射回的光束在干涉鏡處重新會(huì)合時(shí)保持平行。重新會(huì)合的光束到達(dá)探測(cè)器后，以相長或相消的方式相互干涉。在相長干涉過程中，兩束光同相，它們的波峰相互加強(qiáng)，產(chǎn)生明亮的干涉條紋；而在相消干涉過程中，兩束光異相，其中一束光的波峰被另一束光的波谷抵消，形成灰暗的干涉條紋。

                                                                                       ---摘自雷尼紹，侵刪